一种用于减小大尺寸液晶光阀极间电容的制备方法

摘要

本发明公开了一种用于减小大尺寸液晶光阀极间电容的制备方法，包括如下步骤：选择一块大尺寸ITO玻璃，经过表面清洗、旋涂光刻胶、紫外曝光、显影、刻蚀、清洗光刻胶等，将大尺寸ITO玻璃表面刻蚀成所需的形状。同样处理另一块相同的大尺寸ITO玻璃；在两块大尺寸ITO玻璃边缘涂抹上一层固化胶；将两块大尺寸ITO玻璃在贴片压合机上贴片压合，得到大尺寸液晶盒；将相应的液晶复合材料注入上述液晶盒中，就得到极间电容减小的大尺寸液晶光阀。本发明减小了玻璃基板间的电容，提高了液晶盒充放电的速度，使得液晶光阀的响应时间得到很大的提高，继而可用于真三维立体显示，同时有效提高大尺寸显示屏的制作效率，减少成本。

主权项

一种用于减小大尺寸液晶光阀极间电容的制备方法，其特征在于，具体方法包括如下步骤：（1）选择一块大尺寸ITO玻璃，经过特殊处理将大尺寸ITO玻璃表面刻蚀成所需的形状，同样处理另一块相同的大尺寸ITO玻璃；大尺寸ITO玻璃的特殊处理过程如下：a)大尺寸ITO玻璃表面清洗：主要包括清水清洗，在室温、大气压下清洗，去除表面玻璃屑及易除去物；5%NaOH超声清洗，35‑45^oC，30min，数控超声波清洗器，去除表面油脂；去离子水超声清洗，35‑45^oC，30min，数控超声波清洗器，去除表面附着物；有机溶剂清洗，室温，大气压下清洗，去除表面有机物；紫外臭氧清洗，35‑45^oC，20min，氧等离子清洗设备清洗，去除表面较难除却的杂质；b）光刻胶旋涂：将光刻胶过滤2次，先后采用两种旋涂模式进行旋涂，第一种转速600r/min，时间10s，第二种转速2000r/min，时间40s；旋涂完成后避光烘温90 ^oC保存，时间30min；c)紫外曝光：根据所需的电极形状以及电极接口的位置设计菲林板，将菲林板覆盖在ITO玻璃上，待光强稳定后，开始紫外曝光，光强为2.80Wm/cm²，时间为20s；电极接口的制备是通过菲林板设计得到的；d)显影：将曝光后的ITO玻璃放入培养皿中，再将正胶显影液倒入培养皿中至淹没ITO玻璃表面1‑1.5cm，显影时间为40‑50s；e)刻蚀：将显影后的ITO玻璃放入培养皿中，再将王水(HNO₃:H₂O:HCl=1:13:13)倒入培养皿中至淹没ITO玻璃表面1‑1.5cm，刻蚀时间为20‑30min；f)清洗光刻胶：将刻蚀后的ITO玻璃用丙酮清洗表面，洗去玻璃表面的光刻胶；（2）在两块大尺寸ITO玻璃边缘涂抹上一层固化胶；（3）将两块大尺寸ITO玻璃在贴片压合机上贴片压合，得到大尺寸液晶盒；（4）将相应的液晶复合材料注入上述液晶盒中，就得到极间电容减小的大尺寸液晶光阀。