发明名称 一种基于纳米粒子点阵量子输运特性的振动传感器
摘要 本发明提供基于纳米粒子点阵量子输运特性的振动传感器,包括金属纳米粒子点阵(1)、带有微电极(3)的悬臂梁(2)、基础(4)和质块(5);其中,纳米粒子点阵(1)制备于悬臂梁(2)表面且位于一对微电极(3)之间;悬臂梁(2)呈现长条状,一端固定于基础(4)上,另一端为自由端;在悬臂梁(2)的自由端附着质块(5);以金属纳米粒子点阵(1)作为传感器的敏感材料;构成纳米粒子点阵(1)的材料是各种金属,纳米粒子的粒径为1-500nm,纳米粒子的覆盖率在0.3-0.99个单层之间。
申请公布号 CN105444872A 申请公布日期 2016.03.30
申请号 CN201610003870.3 申请日期 2016.01.04
申请人 南京大学 发明人 陈敏瑞;刘畅;谢波;韩民
分类号 G01H11/06(2006.01)I 主分类号 G01H11/06(2006.01)I
代理机构 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 代理人 陈建和
主权项 基于纳米粒子点阵量子输运特性的振动传感器,其特征在于,包括金属纳米粒子点阵(1)、带有微电极(3)的悬臂梁(2)、基础(4)和质块(5);其中,纳米粒子点阵(1)制备于悬臂梁(2)表面且位于一对微电极(3)之间;悬臂梁(2)呈现长条状,一端固定于基础(4)上,另一端为自由端;在悬臂梁(2)的自由端附着质块(5);以金属纳米粒子点阵(1)作为传感器的敏感材料;构成纳米粒子点阵(1)的材料是各种金属,纳米粒子的粒径为1‑500nm,纳米粒子的覆盖率在0.3‑0.99个单层之间。
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