发明名称 |
一种抽真空装置及采用该抽真空装置的操作方法 |
摘要 |
本发明提供一种抽真空装置及采用该抽真空装置的操作方法。该抽真空装置包括由外壳体围设成的腔体,所述外壳体包括:通透孔设置区域,所述通透孔设置区域上设置有多个通透孔;与所述外壳体相连接、能够在第一状态和第二状态之间移动的密封盖;其中,在所述第一状态,所述密封盖盖设于所述通透孔上,所述腔体密封;在所述第二状态,所述密封盖移离至少部分的所述通透孔,通过所述密封盖露出的所述通透孔形成为所述腔体的气体流通通道。该抽真空装置可移动地密封盖可以根据抽真空要求对部分的通透孔进行密封,在此基础上还能够通过多个通透孔同时进行吹气或抽气,从而在保证腔体的密封性的前提下,又能够保证抽气效率或充气效率。 |
申请公布号 |
CN105445973A |
申请公布日期 |
2016.03.30 |
申请号 |
CN201511030602.2 |
申请日期 |
2015.12.31 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
孙雪菲;李正亮;杜建华 |
分类号 |
G02F1/13(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/13(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
许静;黄灿 |
主权项 |
一种抽真空装置,包括由外壳体围设成的腔体,其特征在于,所述外壳体包括:通透孔设置区域,所述通透孔设置区域上设置有多个通透孔;与所述外壳体相连接、能够在第一状态和第二状态之间移动的密封盖;其中,在所述第一状态,所述密封盖盖设于所述通透孔上,所述腔体密封;在所述第二状态,所述密封盖移离至少部分的所述通透孔,通过所述密封盖露出的所述通透孔形成为所述腔体的气体流通通道。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |