一种高通量电阻率测试装置

摘要

本发明属于材料测试装置领域，具体涉及一种高通量电阻率测试装置。本发明针对传统四探针测电阻测试高通量样品时出现的探针反复升降、移动等操作带来的时间消耗和仪器损耗，提出一种基于四探针方法的多探针高通量电阻率测试装置。该装置通过多通道开关的控制完成测试区域的切换，即用电学扫描代替探针的机械扫描，可以大大降低测试需要的时间，实际的测试可以在瞬间完成；并且，本发明可以根据样品的集中程度或者感兴趣区域的集中程度的不同，选择性的“跳过”部分探针，这样能够进一步缩短测试时间，实现样品的准确并行测试，提升测试效率。

主权项

一种高通量电阻率测试装置，其特征在于，所述装置包括：基座，固定设置有若干探针，且每个所述探针均具有用于接触测试样品的尖端和相对于该尖端的连接端；多通道开关，每个所述探针均通过其连接端与所述多通道开关的输入端电连接，且该多通道开关的输出端分别与电流源和电压表连接，以对所述测试样品的电阻率进行量测。