一种半导体加工设备的监控方法及系统

摘要

本发明涉及半导体加工设备的监控方法及系统，系统控制器预设多个地址分别存储与多个监控量的bool值一一对应逻辑监控量的bool值；监控量或逻辑监控量的bool值与报警一一对应；控制器被设置为：依次扫描多个监控量，一旦判断当前监控量满足报警条件，则存储与当前监控量的bool值对应的逻辑监控量的bool值为1，发出安全操作；一旦判断不满足报警条件，则存储与当前监控量对应的逻辑监控量的bool值不变；上位机被设置为：一旦读取控制器存储的当前监控量的bool值对应的逻辑监控量的bool值为1，则抛出与当前监控量或逻辑监控量的bool值对应的报警。该系统可准确及时地获知偶发报警情况增加设备的安全和维护性。

主权项

一种半导体加工设备的监控方法，所述半导体加工设备的监控方法采用监控系统实现，所述监控系统包括上位机和控制器，其特征在于，所述控制器预设有多个地址用于分别存储与多个监控量的bool值一一对应的逻辑监控量的bool值；所述监控量或所述逻辑监控量的bool值与报警一一对应；所述监控方法包括以下步骤：步骤S1，所述控制器依次扫描多个所述监控量，并判断当前监控量是否满足报警条件，若是，则进入步骤S2；若否，则进入步骤S3；步骤S2，当前所述监控量的bool值赋值为true，则存储与当前所述监控量的bool值对应的所述逻辑监控量的bool值为1，并发出安全操作，然后进入步骤S4；步骤S3，当前所述监控量的bool值赋值为false，则存储与当前所述监控量对应的所述逻辑监控量的bool值保持不变，然后进入步骤S4；步骤S4，所述上位机读取所述控制器存储的当前所述监控量的bool值对应的所述逻辑监控量的bool值；步骤S5，所述上位机判断当前所述逻辑监控量的bool值是否为1，若是，则进入步骤S6；步骤S6，所述上位机抛出与当前所述监控量或所述逻辑监控量的bool值一一对应的报警。