用于利用光开关进行返回光束量测的系统和方法

摘要

当激光撞击靶时在激光光束产生的等离子体LPP EUV光源中产生极紫外光EUV。通过返回光束诊断RBD模块测量来自靶的反射光(110)提供了关于EUV产生的数据，包括但不限于靶位置、靶焦点、靶形状和靶轮廓，在RBD模块中，控制器(240)给光开关(200)排序以在阻挡元件(220)与感测装置(230)之间引导反射光，从而提供了在EUV生成过程的诸如撞击靶的激光的不同功率水平和占空比等的不同方面期间在测量反射光时的较大的灵活性。

主权项

一种返回光束诊断系统，用于测量从激光产生的等离子体极紫外光源中的靶反射的光，包括：光开关，位于光学输入路径上，所述光开关接收当所述靶被激光源照射时从所述靶反射的光，所述光开关被配置成具有将接收到的反射光从所述光开关引导在第一光学输出路径上的第一状态，所述光开关被配置成具有将所述接收到的反射光从所述光开关引导在第二光学输出路径上的第二状态；光阻挡元件，位于所述第一光学输出路径上；感测装置，位于所述第二光学输出路径上，所述感测装置被配置成测量所述接收到的反射光；和控制器，被配置成通过指示所述光开关执行以下测量序列对第一激光源发射信号做出响应：从所述第一状态改变至所述第二状态，由此将所述接收到的反射光从所述光开关沿着所述第二光学输出路径引导至所述感测装置以用于测量，和在第一预定时间段之后从所述第二状态改变至所述第一状态，所述控制器进一步被配置成：如果在所述第一预定时间段加上第二预定时间段之后在所述控制器处接收到第二激光源发射信号，则通过重复所述测量序列对所述第二激光源发射信号做出响应，否则忽略在所述控制器处接收到的所述第二激光源发射信号。