一种XY工作台

摘要

本实用新型公开了一种XY工作台，所述底座两端设置有隔振器，可以减少因振动造成的定位精确度差的问题，所述Y向支架上设置有矩形加强筋，可以在工作频率较高时可以减小变形量，而且可以减少共振现象，所述光栅尺设置为直读透射式光栅尺，可以是将光栅的位移转换成近似正弦的莫尔条纹的光电信号,可以提高机械运动的定位或测量的精确性，该XY工作台，具有定位精确度高以及使用时间长的优点，具有广阔的市场前景。

主权项

一种XY十字工作台，其特征在于：包括底座、伺服电机、支架、导轨和目标台，所述导轨包括X向导轨和Y向导轨，所述支架包括X向支架和Y向支架，所述X向支架设置在底座上，所述X向支架通过设置在底座上的伺服电机在底座上的X向导轨上移动，所述X向支架上端设置有对称的支撑杆，所述支撑杆内壁上设置有Y向导轨，所述Y向支架通过Y向导轨与支撑杆连接，所述Y向支架通过伺服电机和Y向导轨进行移动，所述目标台设置在Y向支架上，所述目标台四周上设置有光栅尺，所述目标台和Y向支架之间设置有压电陶瓷。