并入有延伸高度致动器的微机电系统显示器

摘要

本发明提供用于并入有延伸高度致动器的MEMS显示器的系统、方法及设备。光调制组件可定位于衬底与耦合到所述衬底的相对表面之间。悬置电极可耦合到所述光调制组件且悬置于所述衬底与所述相对表面之间。延伸高度电极可定位成紧邻于所述悬置电极，且可从所述衬底向上延伸到超过所述悬置电极的高度的高度。所述悬置电极及所述延伸高度电极可经配置以相对于所述衬底横向移动所述光调制组件。

主权项

一种设备，其包括：衬底；机电系统EMS光调制组件，其定位于所述衬底与耦合到所述衬底的相对表面之间；悬置电极，其耦合到所述EMS光调制组件且悬置于所述衬底与所述相对表面之间；及延伸高度电极，其定位成紧邻于所述悬置电极，从所述衬底向上延伸到超过所述悬置电极的高度的高度；其中所述悬置电极及所述延伸高度电极经配置以相对于所述衬底横向移动所述EMS光调制组件。