彩色滤光片基板的制造方法及彩色滤光片基板

摘要

本发明提供一种彩色滤光片基板的制造方法，其包括步骤：在基底上依次沉积黑色矩阵材料层以及光阻层；经过曝光、显影使得所述光阻层形成图案化光阻层，并经过蚀刻形成黑色矩阵，所述黑色矩阵包括多个容纳腔；在所述容纳腔中形成彩色层，所述彩色层的厚度与所述黑色矩阵的厚度一致；去除所述黑色矩阵表面的所述图案化光阻层。本发明还提供一种彩色滤光片基板。本发明的彩色滤光片基板的制造方法及彩色滤光片基板不漏光、制程时间短、无混色且不影响开口率。

主权项

一种彩色滤光片基板的制造方法，其特征在于，所述方法包括步骤：在基底上依次沉积黑色矩阵材料层以及光阻层；经过曝光、显影使得所述光阻层形成图案化光阻层，并经过蚀刻形成黑色矩阵，所述黑色矩阵包括多个容纳腔；在所述容纳腔中形成彩色层，所述彩色层的厚度与所述黑色矩阵的厚度一致；以及去除所述黑色矩阵表面的所述图案化光阻层。