一种基于超表面的红外吸收型多气体浓度测量传感器

摘要

本发明涉及气体探测技术领域，尤其涉及一种基于超表面的红外吸收型多气体浓度测量传感器，包括气室、红外热辐射光源、起偏器、准平行光组件、异常反射式超表面和热释电探测器；所述红外热辐射光源设置在所述起偏器的入射端；所述准平行光组件的入射端与所述起偏器的出射端连接；所述准平行光组件的出射端伸入所述气室；所述异常反射式超表面设置于所述气室内；所述热释电探测器设置在所述气室上。本发明利用异常反射式超表面的分光特性，能够实现对多种气体的同时测量，结构简单，体积小，并且能够避免衍射光谱的级次重叠的问题，具有较高的测量精度。

主权项

一种基于超表面的红外吸收型多气体浓度测量传感器，其特征在于，包括气室、红外热辐射光源、起偏器、准平行光组件、异常反射式超表面和热释电探测器；所述红外热辐射光源设置在所述起偏器的入射端；所述准平行光组件的入射端与所述起偏器的出射端连接；所述准平行光组件的出射端伸入所述气室；所述异常反射式超表面设置于所述气室内；所述热释电探测器设置在所述气室上；其中，所述气室用于盛装待测量气体，所述红外热辐射光源发出的宽带红外光依次经过所述起偏器和所述准平行光组件后获得准平行偏振光，所述准平行偏振光正入射到所述异常反射式超表面上，所述异常反射式超表面将所述准平行偏振光分光并反射至所述热释电探测器，所述热释电探测器用于将经过所述异常反射式超表面分光之后的反射光转换为电信号，根据所述电信号能够确定所述待测量气体中包含的气体的种类和浓度。