| 发明名称 | 防尘薄膜组件框架以及防尘薄膜组件 | ||
| 摘要 | 本发明的目的一种在制造以及处理容易的同时，使装着后的光掩模变形极小的防尘薄膜组件框架以及防尘薄膜组件。本发明的防尘薄膜组件框架，具有框状的防尘薄膜组件框架本体和从与该防尘薄膜组件框架本体的防尘薄膜绷紧设置的面的相对面沿着防尘薄膜组件框架本体的内面，以具有防尘薄膜组件框架本体的幅度的5～30％的厚度垂直伸出的垂直伸出部，另外，从所述垂直伸出部的终端向着外侧，以与防尘薄膜绷紧设置的面相平行地伸出的厚度为0.3～1mm的水平伸出部。 | ||
| 申请公布号 | CN105446073A | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201510594528.0 | 申请日期 | 2015.09.17 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 関原一敏 |
| 分类号 | G03F1/64(2012.01)I;G03F1/62(2012.01)I | 主分类号 | G03F1/64(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人 | 王勇 |
| 主权项 | 一种防尘薄膜组件框架，具有框状的防尘薄膜组件框架本体，其特征在于：从与所述防尘薄膜组件框架本体的防尘薄膜被绷紧设置的面的相反的面，沿着所述防尘薄膜组件框架本体的内面延伸的，具有所述防尘薄膜组件框架本体的幅度的5～30％的厚度的垂直伸出部以及从所述垂直伸出部的终端向着外侧以与防尘薄膜被绷紧设置的面相平行地延伸的厚度为0.3～1mm的水平伸出部。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||