MEMS麦克风

摘要

本实用新型提供一种MEMS麦克风，包括由外壳和线路板组成的封装结构，在封装结构内设置有MEMS芯片，MEMS芯片包括基底和设置在基底上的电容器，MEMS芯片通过基底与线路板固定；其中，在基底上设置有第一溶胶槽；或者，在基底上设置有第一溶胶槽，并且在线路板与基底相固定的位置设置有第二溶胶槽。上述本实用新型，能够解决线路板与MEMS芯片之间的液态胶体“溢胶”或者“爬胶”的问题，从而避免影响MEMS麦克风的性能。

主权项

一种MEMS麦克风，包括由外壳和线路板组成的封装结构，在所述封装结构内部设置有MEMS芯片，所述MEMS芯片包括基底和设置在所述基底上的电容器，所述MEMS芯片通过所述基底与所述线路板固定；其特征在于，在所述基底上设置有第一溶胶槽；或者，在所述基底上设置有第一溶胶槽，并且在所述线路板与所述基底相固定的位置设置有第二溶胶槽。