发明名称 半導体装置及びその品質管理方法
摘要 【課題】不良な単位素子を簡易かつ適切に検出し得る半導体装置及びその品質管理方法を提案する。【解決手段】相互作用モデルにおけるノード間の相互作用を模擬する半導体装置において、各ノードにそれぞれ対応させて設けられた各単位素子の品質を管理する品質管理部を設け、品質管理部が、各単位素子に対する所定の品質テストを実行し、当該品質テストのテスト結果と、予め与えられた当該品質テストにより得られるべき結果とを比較し、比較結果に基づいて不良のメモリセルと不良の単位素子とを検出するようにした。【選択図】 図9
申请公布号 JP5894645(B1) 申请公布日期 2016.03.30
申请号 JP20140176262 申请日期 2014.08.29
申请人 株式会社日立製作所 发明人 山岡 雅直;小野 豪一;吉村 地尋;林 真人
分类号 H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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