发明名称 研磨装置
摘要
申请公布号 JP5895641(B2) 申请公布日期 2016.03.30
申请号 JP20120065374 申请日期 2012.03.22
申请人 株式会社リコー 发明人 服部 大吾
分类号 B24B9/00;B24D7/18 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人
主权项
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