高灵敏液态物质介电常数传感器

摘要

一种高灵敏液态物质介电常数传感器，包括第一金属薄膜，在矩形金属薄膜上设有第一矩形介质层，在第一矩形介质层上设有第二金属薄膜，在第二金属薄膜上设有矩形测试膜片隔离层，在矩形测试膜片隔离层上设有第二矩形介质层且第二矩形介质层的介电常数小于第一矩形介质层，在第一金属薄膜设有镂空，镂空由第一C形镂空和第二C形镂空构成且第一C形镂空和第二C形镂空呈背靠背设置，第二金属薄膜由第一C形金属箔和第二C形金属箔构成且第一C形金属箔和第二C形金属箔呈背靠背设置，镂空的形状与第二金属薄膜的形状互为相似形，第二矩形介质层的中心设有圆孔。本发明能在0.5GHz到150GHz范围内实时高精度测量液态物质的复数介电参数。

主权项

一种高灵敏液态物质介电常数传感器，其特征在于，包括：第一金属薄膜(1)，在第一金属薄膜(1)上设有第一矩形介质层(3)，在第一矩形介质层(3)上设有第二金属薄膜(4)，在第二金属薄膜(4)上设有矩形测试膜片隔离层(5)，在矩形测试膜片隔离层(5)上设有第二矩形介质层(6)且第二矩形介质层(6)的介电常数小于第一矩形介质层(3)的介电常数，在所述第一金属薄膜(1)设有镂空(2)，所述镂空(2)由第一C形镂空(21)和第二C形镂空(22)构成且第一C形镂空(21)和第二C形镂空(22)呈背靠背设置，所述第二金属薄膜(4)由第一C形金属箔(41)和第二C形金属箔(42)构成且第一C形金属箔(41)和第二C形金属箔(42)呈背靠背设置，所述镂空(2)的形状与第二金属薄膜(4)的形状互为相似形，在所述第二矩形介质层(6)的中心设有圆孔(7)。