一种高温低摩擦系数硬质涂层及其制备方法

摘要

一种高温低摩擦系数硬质涂层及其制备方法，采用反应磁控溅射技术阴极溅射金属Mo和B₄C复合靶，并与真空室中Ar和N₂混合气体中的N₂气反应，在基底表面形成了获得了C、B元素含量适当的Mo-B-C-N四元硬质涂层，即高温低摩擦系数硬质涂层，通过调节复合靶中B₄C的面积，使得该涂层中B和C的含量容易控制。该涂层中C、B、Mo、N元素的原子百分比分别为2～12％、0.5～8％、55～42％、44～38％。该方法工艺简单，易于实施。本发明制得的高温低摩擦系数硬质涂层克服了现有硬质镀层性能的不足，兼备硬度高、耐磨和高温低摩擦系数的特点，使其在高速切削工具上具有良好的推广应用前景。

主权项

一种高温低摩擦系数硬质涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将由金属Mo与B₄C构成的复合靶和基底分别置于磁控溅射设备真空室内的阴极和样品台上；2)对磁控溅射设备真空室抽真空，然后用氩离子束溅射清洗基底表面；3)向磁控溅射设备真空室内通入氩气和氮气，磁控溅射复合靶，并在沉积过程中用氮离子束对沉积中的涂层进行辅助轰击，得到高温低摩擦系数硬质涂层。