一种浅度非球面的面形误差测量方法

摘要

本发明提供的浅度非球面的面形误差测量方法，将被测非球面的最佳比较球球心与干涉仪标准球面镜参考面的焦点重合放置，然后直接进行浅度非球面的测量，在该位置处，非球面与参考面形成的干涉条纹最稀，回程误差较小，可直接进行浅度非球面检测，具体测量方法简单，误差小，成本低等优点。

主权项

一种浅度非球面的面形误差测量方法，采用干涉仪进行直接测量，其特征在于，包括以下步骤：依据被测非球面沿光轴方向的失高Z(x,y)和被测非球面最佳比较球沿光轴方向的失高S(x,y,R)，获得虚拟相位；将被测非球面的最佳比较球球心与干涉仪标准球面镜参考面的焦点重合放置；检测经过被测非球面反射回的光波和干涉仪标准球面镜参考面返回的光波行成的干涉条纹，得到测量相位W(x,y)；依据所述测量相位W(x,y)和所述虚拟相位，获得被测非球面的面形误差M(x,y)；将所述面形误差M(x,y)进行zernike拟合，得调整误差；依据所述面形误差M(x,y)和所述调整误差，获得所述被测非球面的最终面形误差F(x,y)。