具有微结构和光谱纯化层的光源收集镜

摘要

具有微结构和光谱纯化层的光源收集镜，涉及极紫外收集镜和多层膜的设计，本发明的目的是为了实现减少深紫外和红外的杂光，同时降低极紫外的损耗，提供一种在收集镜上制作微结构以及光谱纯化层的多层膜设计。包括在极紫外光收集镜基底上依次制作的光栅刻蚀层、周期性多层膜以及光谱纯化层，在所述光栅的刻蚀层上刻蚀光栅为二值光栅结构，且光栅的线宽与红外光散射光源中驱动的红外激光匹配，实现红外光的高效散射，光栅刻蚀的深度为2～4μm；所述周期性多层膜的顶层材料为Si；所述光谱纯化层由两层光谱纯化层中间设置Si作为间隔层组成。本发明所述的收集镜节省了光源系统中的器件数量，同时减少因系统带来的热损失。

主权项

具有微结构和光谱纯化层的收集镜，包括在极紫外光收集镜基底(1)上依次制作的光栅刻蚀层(2)、周期性多层膜(3)以及光谱纯化层，其特征是；在所述光栅的刻蚀层(2)上刻蚀光栅为二值光栅结构，且光栅的线宽与红外光散射光源中驱动的红外激光匹配，实现红外光的高效散射，光栅刻蚀的深度为2～4μm；所述周期性多层膜(3)的顶层材料为Si；所述光谱纯化层(6)由两层光谱纯化层中间设置Si作为间隔层(7)组成。