| 发明名称 | 探针装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够容易更换探头的探针装置。探针装置(10)包括：主体(12)；配置在该主体(12)的内部的载置晶片(W)的载置台(11)；配置在主体(12)的内部且与载置台(11)相对的探针卡(16)；和配置在主体(12)的内部且能够向探针卡(16)移动的探头保持件(24)，探针卡(16)具有相对于该探针卡(16)可拆装且配置有多个探针(35)的探头(30)，探头保持件(24)保持探头(30)地向探针卡(16)移动。 | ||
| 申请公布号 | CN105452887A | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201480043403.2 | 申请日期 | 2014.06.06 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 宫园光义 |
| 分类号 | G01R31/26(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳;邸万杰 |
| 主权项 | 一种探针装置，其特征在于，包括：主体；配置在该主体的内部的载置基片的载置台；和配置在所述主体的内部且与所述载置台相对的探针卡，所述探针卡具有相对于该探针卡可拆装且配置有多个探针的探头，所述探针装置包括配置在所述主体的内部并且能够保持所述探头地向所述探针卡移动的移动机构。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||