硅片切割废浆液的处理方法

摘要

本发明公开了一种硅片切割废浆液的处理方法，包括以下步骤：将硅片切割废浆液进行离心分离，分别得到液料和固料；利用磁力装置去除所述固料中的铁，得到SiC。本发明利用物理方法去除了硅片切割废浆液中的硅粉、铁杂质和水分等，避免了对SiC棱角的损坏和碱性物质的引入，同时避免了SiC磨料离心回收带来的大量污水排放。与现有技术相比，本发明利用磁力装置去除了固料中的铁，降低了物理回收的碳化硅中的铁粉含量，提高了碳化硅的品质。本发明提供的硅片切割废浆液的处理方法适用于1200#、1500#和2000#SiC砂浆体系，具有广阔的应用前景。

主权项

一种硅片切割废浆液的处理方法，包括以下步骤：步骤a)利用螺旋离心机将硅片切割废浆液进行离心分离，进料速度为0.6～1.2T/h，分别得到液料和固料，所述螺旋离心机的转速为2000～2500rpm，所述螺旋离心机的转鼓长径比为2～2.5，所述螺旋离心机的转鼓半径为300～450mm，所述螺旋离心机的挡板高度为5～15mm；步骤b)利用磁铁去除所述固料中的铁，所述磁铁的磁通量为500～1000mT，得到SiC；所述处理方法无需采用化学方法。