发明名称 微加热器和微传感器及其制造方法
摘要 本发明涉及一种微加热器以及一种微传感器,更具体地,涉及一种能够提供具有小热容量的加热器的微加热器和微传感器,该小热容量通过形成围绕加热器导线的空气间隙以及在多孔衬底上形成加热器导线而获得。
申请公布号 CN105445420A 申请公布日期 2016.03.30
申请号 CN201510616213.1 申请日期 2015.09.24
申请人 普因特工程有限公司 发明人 安范模;朴胜浩;边圣铉
分类号 G01N33/00(2006.01)I;G01N27/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I 主分类号 G01N33/00(2006.01)I
代理机构 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人 张春媛;阎娬斌
主权项 一种微加热器,其特征在于,其包括:多孔衬底;以及加热器电极,该加热器电极形成在所述多孔衬底上,并且包括加热器导线和连接至所述加热器导线的加热器电极焊盘,其中围绕所述加热器导线的空气间隙形成在所述多孔衬底中。
地址 韩国忠清南道