发明名称 成膜装置及び成膜方法
摘要
申请公布号 JP5896861(B2) 申请公布日期 2016.03.30
申请号 JP20120178245 申请日期 2012.08.10
申请人 株式会社デンソー;国立大学法人 東京大学;国立大学法人信州大学 发明人 山田 英雄;北村 康宏;大原 淳士;杉山 正和;霜垣 幸浩;百瀬 健;近藤 愛子;内田 博久
分类号 C23C16/44;C23C16/455 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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