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经营范围
发明名称
成膜装置及び成膜方法
摘要
申请公布号
JP5896861(B2)
申请公布日期
2016.03.30
申请号
JP20120178245
申请日期
2012.08.10
申请人
株式会社デンソー;国立大学法人 東京大学;国立大学法人信州大学
发明人
山田 英雄;北村 康宏;大原 淳士;杉山 正和;霜垣 幸浩;百瀬 健;近藤 愛子;内田 博久
分类号
C23C16/44;C23C16/455
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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