发明名称 |
一种高晶体质量超细砷化铟纳米线生长方法 |
摘要 |
本发明公开了一种高晶体质量超细砷化铟纳米线的生长方法,其包括以下步骤:步骤1:将去除表面氧化层的衬底放在分子束外延设备样品架上,所述分子束外延设备装有铟、砷和银源;步骤2:设定衬底温度为第一设定温度,待温度稳定后,打开银源挡板,以使得在衬底上沉积一定厚度的银薄膜;步骤3:关闭银源挡板,将衬底升温至第二设定温度,待温度稳定后保持第一预定时间,以提高银薄膜的晶体质量;步骤4:然后再将衬底升温至第三设定温度,待温度稳定后保持第二预定时间,使得所述银薄膜分散成银纳米颗粒;步骤5:将铟源及砷源升至一定温度,以通过砷源和铟源的所述温度调节二者的束流比在预定范围内;步骤6:将衬底温度降至砷化铟纳米线的生长温度;步骤7:待温度稳定后,同时打开铟源和砷源挡板,在沉积的银纳米颗粒上生长超细砷化铟纳米线。本发明采用银做催化剂可以降低砷化铟纳米线的生长成本。 |
申请公布号 |
CN103060905B |
申请公布日期 |
2016.03.30 |
申请号 |
CN201310024040.5 |
申请日期 |
2013.01.22 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
赵建华;潘东 |
分类号 |
C30B25/02(2006.01)I;C30B29/40(2006.01)I;C30B29/62(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I |
主分类号 |
C30B25/02(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
宋焰琴 |
主权项 |
一种高晶体质量超细砷化铟纳米线的生长方法,其包括以下步骤:步骤1:将去除表面氧化层的硅衬底放在分子束外延设备样品架上,所述分子束外延设备装有铟、砷和银源;步骤2:设定衬底温度为第一设定温度,待温度稳定后,打开银源挡板,以使得在衬底上沉积一定厚度的银薄膜;步骤3:关闭银源挡板,将衬底升温至第二设定温度,待温度稳定后保持第一预定时间,以提高银薄膜的晶体质量;步骤4:然后再将衬底升温至第三设定温度,待温度稳定后保持第二预定时间,使得所述银薄膜分散成银纳米颗粒;步骤5:将铟源及砷源升至一定温度,以通过砷源和铟源的所述温度调节二者的束流比在预定范围内;步骤6:将衬底温度降至砷化铟纳米线的生长温度;步骤7:待温度稳定后,同时打开铟源和砷源挡板,在沉积的银纳米颗粒上生长超细砷化铟纳米线;其中,所述第二设定温度为250℃,所述第一预定时间为10小时;所述第三设定温度为600‑690℃,第二预定时间为20分钟。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |