发明名称 |
硅片分片机构 |
摘要 |
硅片分片机构,包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述输送带设有抽气气孔,该抽气气孔通过管路与抽气装置连通;所述硅片分片机构本体对应所述输送带的输送方向的前端设有滚轮;所述硅片分片机构本体设有吹风方向朝向所述输送带的吹气气孔,该吹气气孔与吹风装置连通。本发明采用抽气装置、吹气装置和输送带共同作用将堆垛的硅片分开,具有分片效率高的优点。 |
申请公布号 |
CN105448784A |
申请公布日期 |
2016.03.30 |
申请号 |
CN201511022075.0 |
申请日期 |
2015.12.31 |
申请人 |
苏州博阳能源设备有限公司 |
发明人 |
邱文良 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 |
代理人 |
王华 |
主权项 |
一种硅片分片机构,其特征在于:包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述输送带设有抽气气孔,该抽气气孔通过管路与抽气装置连通;所述硅片分片机构本体对应所述输送带的输送方向的前端设有滚轮;所述硅片分片机构本体设有吹风方向朝向所述输送带的吹气气孔,该吹气气孔通过管路与吹风装置连通。 |
地址 |
215000 江苏省苏州市吴中区旺吴路28号 |