用于集成电路制造的数据处理方法和装置

摘要

本申请公开了一种用于集成电路制造的数据处理方法和装置。其中，该用于集成电路制造的数据处理方法包括：实时采集集成电路制造的机台数据；获取机台数据的数据类型；获取与数据类型对应的计算模型，其中，计算模型被配置为多个模型子项；按照多个模型子项对机台数据进行计算，得到计算结果；以及实时输出计算结果。通过本申请，解决了现有技术中进行数据处理时的效率比较低的问题，进而达到了提高数据处理的效率的效果。

主权项

一种用于集成电路制造的数据处理方法，其特征在于，包括：实时采集集成电路制造的机台数据；获取所述机台数据的数据类型；获取与所述数据类型对应的计算模型，其中，所述计算模型被配置为多个模型子项；按照所述多个模型子项对所述机台数据进行计算，得到计算结果；以及实时输出所述计算结果。