自动地确定样品特征的位置的离轴测力传感器力感测

摘要

本公开涉及材料测试中使用测力传感器的离轴力反馈来自动地将特征的中心定位在目标上或目标中的方法。在本公开中。将受测试的产品或设备的简化模型或者产品本身放置在测力传感器探针下方，其中所关注的特征大致地对准探针尖下方。将探针向下驱动到特征中。产品在x方向上相对于探针自动地定位，直到探针的侧面接触特征的侧面。接触通过监控来自测力传感器的力反馈来确定。当来自边载的垂直力超出预先确定的设定点时，假定接触并且产品相对于探针的x位置的值被记录。产品随后在x轴中的相反方向上被重新定位以记录另一侧上的接触负荷。随后，中心被计算为x值的平均值。沿y轴重复该过程。此数据随后用来计算特征的中心，并且产品可以被定位在此位置处，从而使得探针定心在其中心上方。

主权项

一种用于在材料测试应用中定位样品的选定特征的中心的方法，包括以下步骤：提供包括探针的测力传感器；将所述探针朝向所述样品的所述选定特征引导；将所述探针驱动到所述样品的所述选定特征中；在第一方向上将所述产品相对于所述探针定位，直到所述探针接触所述选定特征的第一侧面；在所述第一方向的相反方向上将所述产品相对于所述探针定位，直到所述探针接触所述选定特征的第二侧面；在第二方向上将所述产品相对于所述探针定位，直到所述探针接触所述选定特征的第三侧面；以及在所述第二方向的相反方向上将所述产品相对于所述探针定位，直到所述探针接触所述选定特征的第四侧面。