| 发明名称 | 检测对位偏移的方法和PCB在制板 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种检测对位偏移的方法和PCB在制板，包括：转移第一图形至PCB在制板一面的金属层上，所述第一图形中包括基准尺；转移第二图形至所述PCB在制板另一面的金属层上，所述第二图形中包括量测尺，其中，以所述量测尺的原点对齐所述基准尺的原点的方式将所述第二图形进行转移，所述基准尺和所述量测尺重叠，所述基准尺的N个刻度的长度等于所述量测尺的N-1个刻度的长度；蚀刻所述PCB在制板的金属层；利用所述基准尺和所述量测尺测量图形转移的偏移量。本发明利用蚀刻后的PCB在制板上两面金属层上的基准尺和量测尺，即可测量出相互之间的偏移，该偏移也是曝光机的对位偏移，从而准确地检测曝光机的对位偏移。 | ||
| 申请公布号 | CN103175456B | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201110438926.5 | 申请日期 | 2011.12.21 |
| 申请人 | 北大方正集团有限公司;珠海方正科技高密电子有限公司 | 发明人 | 苏新虹;陈臣 |
| 分类号 | G01B5/02(2006.01)I;H05K1/02(2006.01)I | 主分类号 | G01B5/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人 | 王达佐 |
| 主权项 | 一种检测对位偏移的方法，其特征在于，包括：转移第一图形至PCB在制板一面的金属层上，所述第一图形中包括基准尺；转移第二图形至所述PCB在制板另一面的金属层上，所述第二图形中包括量测尺，其中，以所述量测尺的原点对齐所述基准尺的原点的方式将所述第二图形进行转移，所述基准尺和所述量测尺重叠，所述基准尺的N个刻度的长度等于所述量测尺的N‑1个刻度的长度，N为大于1的自然数；蚀刻所述PCB在制板的金属层；利用所述基准尺和所述量测尺测量图形转移的偏移量。 | ||
| 地址 | 100871 北京市海淀区成府路298号方正大厦5层 | ||