硅光学平台OCT医学影像探头

摘要

一种发射和/或接受光信号的光学探头，由发射和/或接收光信号的光纤和硅光学平台组成。硅光学平台内有一纵向光纤槽，用于固定光纤终端，光纤末端的端面与一反射面在光学平台的侧面进行光学藕合。光纤槽利用硅各向异性腐蚀技术加工。光学平台在某些情况下可有用LIGA或其他电铸技术制造的外壳。此外还描述了形成镜头结构的方法，包括在第一层复合晶圆材料，比如SOI（绝缘体上硅）晶圆，内形成一折射透镜，然后沿折射透镜的光学轴线在复合晶圆材料背面形成光学端口。

主权项

一种在体内发射和接收光线的光学探头(100)，所述探头(100)包含：一发射和接收光信号的光纤(52)；和一硅光学平台(230)，该平台(230)包括一纵向分布的光纤槽(234)，所述光纤槽(234)用于固定光纤(52)的光纤终端(52E)，以及包括盲凹槽(238)，其深度大于光纤槽(234)的至少一部分，盲凹槽(238)的末端形成了折叠反射面(240)，反射面(240)将光纤终端(52E)的端面连接到光学平台(230)的一个侧面上，其中光纤槽(234)的开口与盲凹槽(238)的开口形成于硅光学平台(230)的同一侧中；其中，与光纤槽(234)相比，盲凹槽(238)具有扩大的横向尺寸，以在光纤槽(234)与盲凹槽(238)之间形成朝向反射面(240)的壁面(D)；其中，光纤(52)的光纤终端(52E)的端面按照与其垂直线之间0‑8°的夹角劈开或抛光；其中，反射面(240)与垂直线形成50‑60°的夹角，以使输出自光纤(52)的光束(B)与垂直线形成10‑20°的夹角。