发射器、气体电解电离离子源以及离子束装置

摘要

本发明提供一种即使反复顶点部分的再生处理，引出电压的变化也微小的离子源发射器。在与本发明有关的发射器中，顶端为以单原子为顶点的三角锥形形状，并且从顶点侧观察顶端的形状为近似六角形。

主权项

一种发射器，用于离子束装置的离子源，其中所述发射器具有单结晶金属的基部和针状的顶端部，所述顶端部的顶点部分的形状为三角锥形，从侧面观察所述顶端部情况下的、自与所述顶点部分相反的方向起沿着棱线前进时倾斜度改变的部分处的所述发射器的截面形状为近似六角形。