发明名称 | 纳米结构多功能铁磁复合薄膜材料和制备方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种纳米结构多功能铁磁复合薄膜材料及其制备方法,其制备采用磁控脉冲激光共溅射方法实现,本发明磁控脉冲激光共溅射装置的激光靶位选用纯度>99.95%的La<sub>x</sub>N<sub>1-x</sub>M<sub>y</sub>O<sub>3</sub>陶瓷激光靶材,在磁控靶位选择纯度>99.99%的Pt金属磁控靶材;应用脉冲激光轰击靶材时,La<sub>x</sub>N<sub>1-x</sub>M<sub>y</sub>O<sub>3</sub>靶材溅射物本身在缺氧的条件下会化学分解成磁性金属M和LaNMO<sub>4</sub>电介质两种材料,该磁性金属材料再与磁控溅射的金属材料结合成磁性合金MPt,最终能够获得纳米多功能铁磁复合薄膜MPt:LaNMO<sub>4</sub>。本发明可实现对纳米铁磁性复合薄膜磁学、光学、电学性能的调控,实现复合薄膜的多功能化。 | ||
申请公布号 | CN103956261B | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
申请号 | CN201410162403.6 | 申请日期 | 2014.04.22 |
申请人 | 河北大学 | 发明人 | 刘保亭;贾艳丽;闫启庚;施健;李晓红;代秀红;郭建新;周阳;赵庆勋 |
分类号 | H01F41/18(2006.01)I;H01F10/18(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I | 主分类号 | H01F41/18(2006.01)I |
代理机构 | 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 | 代理人 | 苏艳肃 |
主权项 | 纳米结构多功能铁磁复合薄膜材料的制备方法,其特征在于采用磁控脉冲激光共溅射方法实现,具体包括以下步骤:①在磁控脉冲激光共溅射装置的激光靶位选用纯度>99.95%的La<sub>x</sub>N<sub>1‑x</sub>M<sub>y</sub>O<sub>3</sub>陶瓷激光靶材,磁控靶位选择纯度>99.99%的Pt金属磁控靶材;其中,M=Fe、Ni、Co、Cr或Mn, N=Ca,Sr,Bi或Ba;0<X≤1, 0<Y;②将厚度0.1 mm‑2 mm的衬底置于磁控脉冲激光共溅射装置中的样品台上;③生长纳米多功能铁磁复合薄膜:真空室的背底真空度为(0.01~10)×10<sup>‑4 </sup>Pa , 激光脉冲溅射的靶间距为1~10 cm, 磁控溅射的靶间距为1~15 cm, 准备溅射时充入高纯氩气,保持动态平衡溅射气压为0.01~80 Pa,激光脉冲溅射功率密度为0.1~5 J/cm<sup>2</sup>, 激光溅射频率为1~10 Hz,磁控溅射功率密度为0.15~10 W/cm<sup>2</sup>,得到10‑1000 nm 的MPt: LaNMO<sub>4</sub>纳米结构多功能铁磁复合薄膜材料,其中Pt来自于磁控溅射,M来自于激光靶材La<sub>x</sub>N<sub>1‑x</sub>M<sub>y</sub>O<sub>3</sub>分解的单质金属。 | ||
地址 | 071002 河北省保定市五四东路180号 |