卧式炉管的保护装置，硅晶片的加工系统和加工方法

摘要

本发明公开了一种卧式炉管的保护装置，硅晶片的加工系统和加工方法。卧式炉管的保护装置，包括：壳体，其设置有第一开口，第二开口和第三开口；向壳体供气的供气管路，其穿过所述第三开口进入所述壳体内且所述向壳体供气的供气管路和所述第三开口之间密封。硅晶片的加工系统，包括卧式炉管和上述卧式炉管的保护装置。硅晶片的加工方法，包括如下步骤：通过向卧式炉管供气的供气管路，连接装置和卧式炉管的进气管道向卧式炉管通入工艺气体；通过向壳体供气的供气管路向卧式炉管的保护装置的壳体通入工艺气体作为保护气体。本发明与现有技术相比，提高了产品的良率。

主权项

一种卧式炉管的保护装置，其特征在于，包括：壳体，其设置有第一开口，第二开口和第三开口；其中，所述第一开口用于卧式炉管的进气管道穿过进入所述壳体内且所述用于卧式炉管的进气管道和所述第一开口之间密封，所述第二开口用于向卧式炉管供气的供气管路穿过进入所述壳体内且用于向卧式炉管供气的供气管路和所述第二开口之间密封；向壳体供气的供气管路，其穿过所述第三开口进入所述壳体内且所述向壳体供气的供气管路和所述第三开口之间密封。