发明名称 |
直写式曝光系统中的扫描台 |
摘要 |
本实用新型公开了一种直写式曝光系统中的扫描台,包括水平设置的矩形台面板,所述台面板上方设置有两根相互平行且平行于台面板的压板横梁,两压板横梁均横跨台面板,所述台面板的侧面设置有与压板横梁的各个端部相对应的安装座,该安装座与台面板相对固定,各个安装座上分别设置有一个升降驱动装置,所述压板横梁的两端分别与对应安装座上的升降驱动装置相连接,同一压板横梁两端的升降驱动装置同步驱动该压板横梁上下移动。在传统的扫描台台面板上增加了两根压板横梁,利用两根压板横梁或安装在压板横梁上的压板将软性曝光板有翘曲现象的边压住,这样在曝光软性曝光板的时候,就可以避免因软性曝光板的边翘曲引起的曝光质量不好的问题了。 |
申请公布号 |
CN205121156U |
申请公布日期 |
2016.03.30 |
申请号 |
CN201520474307.5 |
申请日期 |
2015.07.03 |
申请人 |
苏州微影光电科技有限公司 |
发明人 |
王友车;张国龙;吴斌 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
无锡中瑞知识产权代理有限公司 32259 |
代理人 |
孙高 |
主权项 |
直写式曝光系统中的扫描台,包括水平设置的矩形台面板(1),其特征在于,所述台面板(1)上方设置有两根相互平行且平行于台面板(1)的压板横梁(2),两压板横梁(2)均横跨台面板(1),所述台面板(1)的侧面设置有与压板横梁(2)的各个端部相对应的安装座(3),该安装座(3)与台面板(1)相对固定,各个安装座(3)上分别设置有一个升降驱动装置(4),所述压板横梁(2)的两端分别与对应安装座(3)上的升降驱动装置(4)相连接,同一压板横梁(2)两端的升降驱动装置(4)同步驱动该压板横梁(2)上下移动。 |
地址 |
215636 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路苏州微影光电科技有限公司 |