发明名称 一种表面等离子体激元增强针尖及针尖增强方法
摘要 本发明涉及一种表面等离子体激元增强针尖,所述增强针尖包括:(1)透明衬底:用于光线入射;(2)金属薄膜:设置于透明衬底的一侧,在所述金属薄膜上开有螺旋结构的狭缝;(3)金属针尖:包括金属针尖的尖部和根部,根部连接金属薄膜,且位于螺旋结构的中心。本发明提供的增强针尖的针尖增强效果好,能够实现3个数量级的针尖增强;可实现0.03λ<sub>0</sub>的分辨率,增强深度达到50nm;大大提高了信噪比和灵敏度;操作方便简单,易于形成大面积针尖阵列,提高扫描速度。
申请公布号 CN103837709B 申请公布日期 2016.03.30
申请号 CN201410075679.0 申请日期 2014.03.04
申请人 国家纳米科学中心 发明人 陈东学;苗俊杰;刘前
分类号 G01Q60/22(2010.01)I;G02B5/00(2006.01)I 主分类号 G01Q60/22(2010.01)I
代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 巩克栋;侯桂丽
主权项 一种表面等离子体激元增强针尖,其特征在于,所述增强针尖包括:(1)透明衬底:用于光线入射;(2)金属薄膜:设置于透明衬底的一侧,在所述金属薄膜上开有螺旋结构的狭缝;(3)金属针尖:包括金属针尖的尖部和根部,根部连接金属薄膜,且位于螺旋结构的中心;所述金属针尖的长度为1~2μm;所述金属针尖的张角为20~40°;所述螺旋结构满足如下条件:r<sub>n</sub>(φ)=r<sub>n0</sub>+(φ/2π)kλ<sub>sp</sub>,r<sub>n0</sub>=r<sub>10</sub>+(n‑1)λ<sub>sp</sub>,0≤φ≤2π,k=1,2,3…,n=1,2,3…;其中,r<sub>n</sub>(φ)为极坐标系中第n圈螺旋结构在相位为φ处距离螺旋中心的长度;r<sub>n0</sub>为第n圈螺旋结构中距离中心的最小距离;λ<sub>sp</sub>为所述表面等离子体激元的波长;所述狭缝的缝宽为50~400nm;所述螺旋结构的第一圈距离螺旋中心的最小长度为550nm~10μm。
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