酸性氯化铜蚀刻废液的再生及回收工艺

摘要

本发明的公开一种酸性氯化铜蚀刻废液的再生工艺，包括置换、过滤、清洗滤渣、调配再生混合液、氧化为再生蚀刻子液的步骤。该工艺不使用有毒的氯气，且能够对酸性蚀刻废液中的各成分进行充分的循环再利用，不产生大量多余的化学废液；本发明还提供了一种酸性氯化铜蚀刻废液的回收工艺，包括置换、过滤、清洗滤渣、氧化回收的步骤。该工艺不使用有毒的氯气，回收所得的主成分为三氯化铁的溶液可作为废水处理原料，得到再利用；回收所得的铜可直接再利用。

主权项

一种酸性氯化铜蚀刻废液的再生工艺，其特征在于包括以下步骤：S1‑置换：检测所述蚀刻废液中的铜离子浓度和三价铁离子浓度，并向所述蚀刻废液中加入铁粉，所添加的铁粉量为：S2‑过滤：过滤S1所得的混合物，得到滤液A和滤渣B；S3‑清洗滤渣：将所述的滤渣B置于足量或过量盐酸中反应，反应结束后进行一次或多次过滤，得到滤液C和滤渣D，滤渣D为可直接再利用的铜；S4‑再生混合液的调配：使用所述的滤液A和/或所述的滤液C，检测其中的铁离子含量，并按照配比，加入HCl和水，将所述的滤液调配为再生混合液；所述的再生混合液以其总重量百分比为100％计，包含1～36.5wt％HCl、0.01～45wt％铁离子，余量为水；S5‑氧化为再生蚀刻子液：所述的再生混合液可先在线外氧化为再生蚀刻子液，再作为蚀刻子液参与蚀刻，也可加入生产线，直接作为蚀刻子液参与蚀刻；当进行再生混合液的线外氧化时，使用自动检测投料控制机，对再生混合液的氧化还原电位进行检测，控制氧化剂的投放量；所述自动检测投料控制机的生产控制参数设定为：氧化还原电位为380～700mV。