具有抗溅射损伤和抗氧化性的高热稳定性极紫外多层膜

摘要

本发明公开了一种具有抗溅射损伤和抗氧化性的高热稳定性极紫外多层膜，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中极紫外多层膜无法兼备抗溅射损伤、抗氧化性能、高热稳定性、较好的反射率的技术问题。本发明的极紫外多层膜主要由从下至上依次设置在基底上的周期层和表面保护层组成，其中，周期层由从下至上依次排列的Si层、第一阻挡层、Mo层、第二阻挡层组成；表面保护层的材料为Ti、Al、N三种元素按摩尔比(0.5-1):(0.5-1):1组成的化合物。该极紫外多层膜能够抗溅射损伤，具备抗氧化性和高稳定性，且反射率相对于Mo/Si多层膜的降低程度也在合理范围之内。尤其适用于需要在恶劣环境下使用的收集镜。

主权项

极紫外多层膜，主要由从下至上依次设置在基底(1)上的周期层(2)和表面保护层(3)组成；其特征在于，所述周期层(2)由从下至上依次排列的Si层(21)、第一阻挡层(22)、Mo层(23)、第二阻挡层(24)组成；所述表面保护层(3)的材料为Ti、Al、N三种元素按摩尔比(0.5‑1):(0.5‑1):1组成的化合物。