| 发明名称 | MEMS传感器用模块、振动驱动模块及MEMS传感器 | ||
| 摘要 | 本发明的MEMS传感器用模块、特别是振动驱动模块包括：以可振动的方式被支承，并在振动方向上延伸的可动电极；与该可动电极大致平行地设置，并在所述振动方向上延伸的固定电极；在所述可动电极的与所述固定电极相对的相对壁面上沿所述振动方向排列设置的多个凸部；以及在所述固定电极的与所述可动电极相对的相对壁面上与所述可动电极的凸部相对的多个凸部。 | ||
| 申请公布号 | CN105452809A | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201480031829.6 | 申请日期 | 2014.06.17 |
| 申请人 | 株式会社村田制作所 | 发明人 | 冈见威;辻信昭;小野秀和 |
| 分类号 | G01C19/5747(2006.01)I | 主分类号 | G01C19/5747(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 熊风 |
| 主权项 | 一种MEMS(Micro Electro Mechanical System：微电子机械系统)传感器用模块，其特征在于，包括：以可振动的方式被支承，并在振动方向上延伸的可动电极；与所述可动电极大致平行地设置，并在所述振动方向上延伸的固定电极；在所述可动电极的与所述固定电极相对的相对壁面上沿所述振动方向排列设置的多个凸部；以及在所述固定电极的与所述可动电极相对的相对壁面上与所述可动电极的凸部相对的多个凸部。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||