| 摘要 |
본 발명은, 적어도, 환형의 강성 링과, 상기 강성 링에 균일하게 장력으로 접착된 러버막과, 강성 링에 결합되며 러버막과 강성 링과 함께 공간부를 형성하는 중판과, 러버막의 하면부의 주변부에 강성 링과 동심 형상으로 배치된 환형의 템플릿과, 공간부의 압력을 변화시키는 압력 조정 기구를 구비하며, 공간부가, 강성 링과 동심의 적어도 1개의 환형의 벽에 의해 나누어지고, 복수의 밀폐 공간이 형성되며 상기 환형의 벽에 의해 나누어진 복수의 밀폐 공간 중 내측의 적어도 1개의 밀폐 공간의 외경이, 워크의 평탄 보증 영역 직경 이상이 되도록 형성되며, 압력 조정 기구는, 복수의 밀폐 공간 내의 압력을 각각 독립으로 조정하는 것인 것을 특징으로 하는 연마 헤드이다. |
