| 摘要 |
보다 낮은 전압에 있는 소스 용기로부터 보다 높은 전압에 있는 하나 이상의 유체-이용 툴까지 유체를 제공하기 위해, 유체를 원격 전달하기 위한 유체 저장 및 분배 시스템 및 방법이 개시되며, 유체는 아크방전, 방전, 조기 이온화 또는 다른 이상 성질이 없이 관련 전압 갭을 교차하며, 다중 유체-이용 툴이 원격 소스 용기에 의해 공급되는 경우, 다중 용기 중 다른 용기의 독립적인 작동 동안에 적당한 압력 레벨에서 다중 툴의 각각으로 효율적으로 유체가 공급된다. |
