METHOD FOR PREVENTING METAL LINES IN ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY DEVICE FROM SHORT-CIRCUIT

摘要

본 발명의 유기발광 표시장치에서 금속 배선들 간의 단락 방지 방법은, 기재(410) 상에 무기물층을 형성하는 단계; 상기 무기물층 상에 두 개의 금속 배선들(402, 404)을 포함하는 금속층을 형성하는 단계; 상기 금속층의 두 개의 금속 배선들 상에 유기물층(406)을 형성하는 단계; 상기 유기물층 상에 인듐 틴 옥사이드층(408)을 형성하는 단계; 감광층을 도포하는 단계; 상기 두 개의 금속 배선들 사이의 위치와 대응되는 투과 영역 C, 상기 투과 영역 C에 배치된 차광 물질(a light-proof)을 구비한 포토 마스크, 상기 차광 물질의 폭은 상기 포토 마스크의 투과 영역의 폭보다 작은 상기 포토 마스크를 사용하여 감광층에 노광 공정을 수행하는 단계; 상기 감광층에 현상 공정을 수행하는 단계; 및 상기 유기물층의 일부와 상기 인듐 틴 옥사이드층의 일부를 제거하기 위해 식각 공정을 수행하는 단계를 포함한다. 본 발명은 금속 배선들 간의 단락을 방지할 수 있다.