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发明名称 METHOD FOR OPERATING A PULSED ARC SOURCE
摘要
申请公布号 HUE025140(T2) 申请公布日期 2016.03.29
申请号 HUE06705363 申请日期 2006.03.01
申请人 Oerlikon Surface Solutions AG, Truebbach 发明人 RAMM, Juergen;GSTOEHL, Oliver;WIDRIG, Beno;LENDI, Daniel
分类号 H01J37/32;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/32;F01D5/28;H01J37/34 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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