| 摘要 |
가공대상물을 확실히 연삭(硏削)할 수 있는 가공대상물 연삭방법을 제공한다. 가공대상물(1)의 내부에 집광점(集光点)을 맞추어 레이저광을 조사함으로써, 가공대상물(1)의 외연(外緣)으로부터 소정의 거리 내측으로 외연에 따라 설정된 개질(改質)영역 형성라인을 따라서 가공대상물(1)에 개질영역(7)을 형성하여 가공대상물(1)의 이면(裏面)(21)을 연삭한다. 이 결과, 이 개질영역(7) 또는 개질영역(7)으로부터 연장하는 균열(C1)에 의해서, 가공대상물(1)의 연삭에 기인하여 외연부(25)에서 생긴 균열이 내측으로 신장하는 것을 억제할 수 있어 가공대상물(1)의 갈라짐을 방지하는 것이 가능하게 된다. |
