| 摘要 |
코팅 시스템(1)은 챔버들의 배치 및 스윙 모듈을 포함하는 스윙 스테이션을 포함한다. 챔버들의 배치는 록 챔버(3) 및 제1 코팅 챔버(4)를 포함한다. 록 챔버(3)는 결합된 록-인/록-아웃 챔버로 구성된다. 챔버들의 배치는 점선으로 표시된 실질적으로 선형인 제1 수송 경로(T1), 및 점선으로 표시된 실질적으로 선형인 제2 수송 경로(T2)를 포함한다. 경로 T1 및 T2의 배치는 듀얼 트랙을 형성한다. 시스템(1)은 화살표로 표시된 바와 같이 제1 수송 경로(T1) 및/또는 제2 수송 경로(T2)를 따라 챔버들의 배치를 통하여 기판을 이동시키는 이송 시스템을 포함한다. 챔버 3, 4 중 하나, 또는 특히 두 개의 챔버 모두는, 듀얼 또는 트리플 트랙부의 이동에 의하여 제1 경로(T1)로부터 제2 경로(T2)로, 및/또는 제2 경로(T2)로부터 제1 경로로(T1), 기판/캐리어를 이송시키는 이송 수단을 포함한다. |
