| 摘要 |
(과제) PZT 계 강유전체 박막을 성막할 때, 졸겔법에 의한 1 회에 도포하는 1 층을 두껍게 도포할 수 있고, 또한, 가소 (假燒), 소성 후에 PZT 막을 크랙리스이며 치밀한 막구조로 할 수 있는 강유전체 박막 형성용 졸겔액을 제공한다. (해결 수단) 강유전체 박막 형성용 졸겔액이, PZT 계 화합물과, 폴리비닐피롤리돈을 함유하는 점도 조정용의 고분자 화합물과, 포름아미드계 용제를 함유하는 유기 도펀트를 함유하고, PZT 계 화합물이 산화물 환산으로 17 질량％ 이상 함유되고, 상기 PZT 계 화합물에 대한 폴리비닐피롤리돈의 몰비가 모노머 환산으로 PZT 계 화합물 : 폴리비닐피롤리돈 = 1 : 0.1 ∼ 0.5 이고, 포름아미드계 용제가 상기 졸겔액의 3 질량％ ∼ 13 질량％ 함유함으로써, 1 회에 도포하는 1 층을 두껍게 할 수 있어, 생산 효율 향상을 도모할 수 있고 또한 가소, 소성 후에도 크랙리스이며 치밀한 성막이 가능해진다. |
