| 摘要 |
기판 상에 증착되거나 성장되는 층들의 보다 균일한 두께를 제공하는 기판 지지 링들의 실시예들이 본원에서 제공된다. 몇몇 실시예들에서, 기판 지지 링은: 기판을 지지하도록 중앙에 위치된 지지 표면을 갖는 내측 링; 및 지지 표면으로부터 방사상 외측으로 연장하는 외측 링;을 포함하며, 외측 링은 지지 표면의 지지 평면에 대해 대체로 평행한, 지지 표면 위에 배치된 반응 표면 지역을 포함하고, 반응 표면은 약 24 mm 내지 약 45 mm만큼 상기 지지 표면을 지나 연장한다. |
