| 摘要 |
본 발명의 정전기 분포 계측 장치(1)는, 계측 대상물(200)의 계측면에 있어서의 정전기 분포를 계측하는 정전기 분포 계측 장치(1)이고, 진동에 의해 계측면에 있어서의 복수 영역(211)의 각각에서 발생하는 전계를 수신하는 어레이 안테나(2); 계측 대상물(200) 혹은 어레이 안테나(2)를 진동시키는 진동 수단(3); 어레이 안테나(2)가 수신한 복수 영역(211)의 각각에서의 전계의 강도, 주파수 및 위상 중의 적어도 하나를 계측하는 계측 수단(4); 계측 수단(4)에 의한 계측 결과에 기초하여, 복수 영역(211)의 각각에서의 정전기량을 산출하는 산출 수단(5); 및 복수 영역(211)의 각각에서의 정전기량에 기초하여, 계측면에 있어서의 정전기 분포를 드로잉하는 드로잉 수단(6)을 구비하고, 어레이 안테나(2)는, 복수 영역(211)의 각각에 대응하는 복수의 안테나 소자(21)를 구비한다. |
