| 发明名称 |
平面外に移動可能なモバイルマスを有するマイクロ電子機械装置 |
| 摘要 |
【課題】平面外に移動可能なモバイルマスを有するマイクロ電子機械装置を提供する。【解決手段】本発明は、力センサーとして使用されるマイクロ電子機械装置に関し、スプリングまたは変形可能なエレメントによって一つ以上のアンカリングエリアに接続されるモバイルマスと、モバイルマスの変位を検知する手段と、外部フレームおよび内部ボディを有し、外部フレームおよび内部ボディは、外部フレームの二つの異なる側に接続されるデカップリングスプリングを形成する少なくとも二つの可撓部によって接続される。【選択図】図２ |
| 申请公布号 |
JP2016509209(A) |
申请公布日期 |
2016.03.24 |
| 申请号 |
JP20150550139 |
申请日期 |
2013.12.24 |
| 申请人 |
トロニックス マイクロシステムズ |
发明人 |
ボイロット，フランソワ−カビラ;ラウビ，ルミ;ジョルダン，ギュイローメ |
| 分类号 |
G01P15/12;B81B3/00;G01P15/08;H01L29/84 |
主分类号 |
G01P15/12 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
