| 摘要 |
본 발명은 에너지가 제어된 협소한 조명라인(70)으로 작업 스테이지(68) 상의 샘플(66)을 조사하는 조명 장치로서, 상기 조명 라인(70)은 빔 경로(13)를 따라 진행하는 레이저 빔으로부터 생성되고 레이저 광원(10)으로부터 방출되며, 제 1 방향(x)에 직교하는 제 2 방향(y)에서의 크기를 배수만큼 초과하는 상기 제 1 방향(x)에서의 크기를 구비하는 조명장치에 있어서, 상기 레이저 빔(12)을 라인 형상(70a)으로 형성하는 빔 형성 광학 시스템(80); 상기 레이저 빔(12)의 에너지를 측정하는 에너지 측정 디바이스(58); 상기 측정된 레이저 빔 에너지에 대한 제어 신호(78)를 생성하고 상기 제어 신호(78)에 따라 상기 레이저 광원(10)의 에너지 출력을 제어하는 에너지 제어 시스템(76)을 포함하는 조명장치에 관한 것이다. 본 발명은, 상기 에너지 측정 디바이스(58)가 상기 빔형성 광학 시스템(80) 다음에 그리고 상기 작업 스테이지(68) 전에 상기 빔 경로(13)에 배치되거나, 상기 제어 신호(78)가 상기 제1 방향에서 상기 라인 형상 빔(70a)의 크기를 따라 평균화된 에너지를 지시하는 것을 특징으로 한다. 본 발명은 또한, 협소한 조명 라인(70)으로 작업 스테이지(68) 상의 샘플(66)을 조사할 때 레이저 광원(10)의 에너지를 제어하여, 상기 조명 라인(70)이 빔 경로(13)를 따라 진행하는 레이저 빔(12)으로부터 생성되고 상기 레이저 광원(10)으로부터 방출되며, 제 1 방향(x)에 직교하는 제 2 방향(y)에서의 크기를 배수만큼 초과하는 상기 제1 방향에서의 크기를 구비하는 방법에 있어서, 상기 레이저 빔(12)을 라인(70a)으로 형성하는 단계; 상기 라인 형상 레이저 빔(12)의 에너지를 측정하는 단계; 상기 측정된 레이저 빔 에너지에 대한 제어 신호(78)를 생성하는 단계; 상기 제어 신호(78)에 대한 상기 레이저 광원의 에너지 출력을 제어하는 단계를 포함하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 상기 제어 신호(78)는 상기 제 1 방향에서 상기 라인 형상 빔(70a)의 크기를 따라 평균화된 빔 에너지를 지시한다. 본 발명의 또다른 측면에 따르면, 상기 빔 형성 시스템 다음에 그리고 상기 작업 스테이지(68) 이전에 상기 빔 경로(13)에서의 상기 레이저 빔(12)의 상기 에너지를 측정한다. |
