| 摘要 |
本発明は、大気圧においてコールドフィラメント状プラズマの生成を可能にする誘電体バリア放電による基板（１）の表面処理装置（１０）であって、基板支持および／または移動手段（２）と基板支持および／または移動手段（２）の両側に平行に配置された少なくとも２つの電極（３、４）とが配置された反応室であって一方の電極（３）は高電圧にされ対向電極（４）は接地されるよう意図される、反応室を含む、装置に関する。本発明は、対向電極（４）が電極（３）の幅（ｌｅ）と長さ（Ｌｅ）よりそれぞれ短い幅（ｌｃｅ）と長さ（Ｌｃｅ）を有することと、対向電極（４）が対向電極（４）を含む面上の電極（３）の正射影（５）内に包まれるように配置されることとを特徴とする。本発明はまた、このような装置を要求する表面処理方法、特に層蒸着に関する。【選択図】 図１ |
