| 摘要 |
Ein Mikrofon und ein Verfahren zum Herstellen des Mikrofons werden bereitgestellt. Das Mikrofon weist ein Substrat mit einer Durchdringungsöffnung, eine Vibrationseinheit, welche auf dem Substrat angeordnet ist, um die Durchdringungsöffnung abzudecken, und eine befestigte Elektrode, welche über und von der Vibrationseinheit entfernt angeordnet ist, auf. Ferner weist die Vibrationseinheit einen ersten Abschnitt und einen zweiten Abschnitt auf, welche auf der Durchdringungsöffnung angeordnet sind, und einen dritten Abschnitt, welcher auf dem Substrat angeordnet ist, Zusätzlich sind der erste Abschnitt und der dritte Abschnitt voneinander beabstandet und der zweite Abschnitt ist zwischen dem ersten Abschnitt und dem dritten Abschnitt gekoppelt und weist einen ersten piezoelektrischen Abschnitt und einen zweiten piezoelektrischen Abschnitt auf. |
