Aktuator mit integriertem Zustandsüberwachungssystem sowie Verfahren zur Zustandsüberwachung sowie Verfahren zur Herstellung eines Aktuators

摘要

Aktuator mit integriertem Zustandsüberwachungssystem zur Erkennung und Überwachung von mechanischen Ungleichmäßigkeiten einzelner Bauteile des Aktuators und/oder zur Messung einer Lastverteilung an diesen, wobei der Aktuator mindestens zwei, gegeneinander bewegbare Komponenten mit jeweils einem ersten und einem zweiten Oberflächenbereich enthält, wobei die beiden Komponenten jeweils mit ihrem ersten Oberflächenbereich so zueinander angeordnet sind, dass die beiden ersten Oberflächenbereiche miteinander in Kontakt oder durch mindestens eine Zusatzkomponente voneinander beabstandet sind, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Oberflächenbereich zumindest einer der beiden Komponenten mindestens einen piezoresistiven Sensor als Element des Zustandsüberwachungssystems aufweist, wobei der mindestens eine piezoresistive Sensor im Lastpfad zumindest einer der beiden Komponenten angeordnet ist.